반도체 세정용 대형 고온 진공 오븐
IVO-2000S
모델명
: IVO-2000S
제품특징 : 반도체 세정용 진공 오븐
제품특징 : 반도체 세정용 진공 오븐
1. 제품 특징 (Features)
· 8채널 정밀한 온도 제어(선반별 제어 기능 포함)
· 진공 유지 설정 후 자동 VENT 기능
· 질소 가스 및 AIR 공급 수동 밸브 포함.
2. 제품 사양 (Specification)
| Model | VO-2000S |
|
Chamber Volume |
2000L |
|
Heater Power (kW) |
34kW |
|
Temperature |
Range |
40~400℃ |
Control |
0.1℃ |
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Accuracy |
±2℃ at 100℃ |
|
Sensor |
K-type |
|
Stability |
±1.0℃ |
|
Heat up Time |
5℃ per 30 mins (empty) |
|
Vacuum |
Range |
0~760 Torr Digital type |
Degree |
About 0.1 Torr | |
Material |
Interior |
Stainless Steel |
Exterior |
Steel, 1.2t, double painted & baked |
|
Heater |
SUS Pipe Heater |
|
Heating Method |
SUS Sheath Heater |
|
Shelf |
2 |
|
Dimension (W x D x H, mm) |
Internal |
1000 x 2000 x 1000 |
External |
1680 x 2310 x 1800 |
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Power |
380V / 3P/ 60Hz |
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Weight (kg) |
About 500kg |
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*진공도 범위 옵션 : 10-^3Torr 이상도 가능합니다.